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工控人家園 綜合討論 關(guān)于設(shè)備精度補(bǔ)償求助

何文軒

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樓主發(fā)表于: 58天前

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一個(gè)檢測(cè)設(shè)備，每次走一個(gè)長(zhǎng)方形，相機(jī)檢測(cè)出來(lái)的位置X,Y方向都有30um，40um的偏差，求大神幫忙看看有沒(méi)有比較合適的方法，通過(guò)什么方式矯正過(guò)來(lái)，要求5un ，謝謝各位了

libin520

雖然沒(méi)什么突破和進(jìn)步，卻還是每天在堅(jiān)持著。

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1樓發(fā)表于: 52天前

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用什么硬件能保證機(jī)械精度是3um,
我們這里用的1nm的微型直線(xiàn)馬達(dá)，XY平臺(tái)行程100mm，價(jià)格11W RMB。配合康耐視相機(jī)做補(bǔ)正。勉強(qiáng)保證到2微米。
被檢測(cè)物太小了。直徑是25微米的合金導(dǎo)線(xiàn)。被檢測(cè)位置是去除絕緣皮的位置。

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請(qǐng)教下平臺(tái)的平整度用什么測(cè)量和校準(zhǔn)，謝謝

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